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    當前位置:首頁 >產(chǎn)品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>12英寸安賽斯程控勻膠機

    安賽斯程控勻膠機

    簡要描述:名 稱:安賽斯程控勻膠機
    安賽斯程控勻膠機12英寸是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉勻膠設備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。

    • 產(chǎn)品型號:12英寸
    • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
    • 更新時間:2024-12-16
    • 訪  問  量:2647

    詳細介紹

    產(chǎn)品介紹:



     稱:安賽斯程控勻膠機

     號:12英寸

    應  用:安賽斯程控勻膠機勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉勻膠設備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。



    產(chǎn)品概述:



      安賽斯程控勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉勻膠設備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。

      不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級別400瓦伺服電機系統(tǒng),采用于track設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實際應用意義;同類產(chǎn)品中大達到50000rpm/s的旋轉加速度,確保旋轉勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復性。



    性能參數(shù):



    l  主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)

    l  旋涂程序:多存100組程序,每組100步,每個步驟可0.1

    l  轉動速度:0-5,000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm

    l  旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s

    l  馬達旋涂轉速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

    l  轉速調節(jié)精度<1rpm,重復性< 1rpm

    l  工藝時間設定: 0-3,000 sec/step,時間設置精度:0.1sec

    l  支持wafer尺寸1cm-300mm12“圓晶)

    l  旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)



    產(chǎn)品特點:



    l  內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。

    l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。

    l  Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可適合各種材料勻膠工藝。

    l  標準配置轉速5000rpm,并可根據(jù)用戶需要進行定制。

    l  采用工業(yè)級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

    l  機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,不會生銹,便于清洗。

    l  透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。




    產(chǎn)品外型尺寸:613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)



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